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半導體行業(yè)氣體中的露點測量是一個挑戰(zhàn),以99.9999%的高純氮氣為例,其水分含量低于1ppm,也就是100萬個氣體分子中, 不到1個水分子。如此微量的水分子含量, 對濕度傳感器的靈敏度和準確性都是一個真正的考驗。在過往,高精度的水分儀往往伴隨著高成本,而隨著金屬氧化物陶瓷濕度傳感器的開發(fā),在精度和成本上的選擇不再是魚和熊掌不能兼得的困境。...
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