由于在半導(dǎo)體等電子工業(yè)生產(chǎn)中的重要作用，電子特氣被稱(chēng)為電子工業(yè)的“血液”

電子特氣下游主要應(yīng)用包括半導(dǎo)體、顯示面板、光伏和LED。全球范圍內(nèi)來(lái)看，半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)電子特氣的需求占到總量的71%，顯示面板需求占到18%。在國(guó)內(nèi)范圍中，半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)電子特氣需求占到國(guó)內(nèi)總需求的42%，顯示面板需求占到37%，這是由于我國(guó)的晶圓代工產(chǎn)業(yè)的發(fā)展稍顯滯后。

純度要求：

半導(dǎo)體行業(yè)使用的氮?dú)獯蠖嘀苯咏佑|電子零件，純度需要達(dá)到ppm，ppb等級(jí)潔凈度是控制粉塵粒徑小于0.1..0.05m,壓力露點(diǎn)-40℃℃...-70℃。

為了達(dá)到使用氮?dú)獾臉?biāo)準(zhǔn)，通常會(huì)在氣體傳輸?shù)嚼鋬龈稍餀C(jī)前端的氣體上安裝露點(diǎn)傳感器，也可以安裝在烘烤凈晶體前面，這樣可以更準(zhǔn)確地監(jiān)測(cè)氮?dú)膺\(yùn)輸過(guò)程中的露點(diǎn)值，保持在極低的濕度，從而提高。

德國(guó)CS露點(diǎn)傳感器FA 510測(cè)量氣體中的微濕度，露點(diǎn)傳感器，在-80°CDP至+20℃DP測(cè)量范圍內(nèi)氣體中的微量濕度。用于在線測(cè)量空氣和腐蝕性氣體中的含水量(露點(diǎn))，可編程開(kāi)關(guān)輸出，用于報(bào)警信號(hào)，并對(duì)露點(diǎn)鏡進(jìn)行校準(zhǔn)。結(jié)構(gòu)堅(jiān)固可靠，防護(hù)等級(jí)高。

FA 515 Ex防爆設(shè)計(jì)，用于化學(xué)污染、冷凝等惡劣環(huán)境，非常適合工業(yè)工藝氣體供應(yīng)或壓縮干燥機(jī)效率監(jiān)測(cè)。

FA 505-德國(guó)CS露點(diǎn)傳感器，用于OEM應(yīng)用

在半導(dǎo)體工業(yè)應(yīng)用中，需要將氮?dú)獾募兌群颓鍧嵍瓤刂圃谝欢ǚ秶鷥?nèi)，也因?yàn)樗鼤?huì)直接接觸，精細(xì)的加工工藝和微量水分的改善極大地影響了工藝中產(chǎn)品的產(chǎn)量。根據(jù)行業(yè)調(diào)査，25%以上的工業(yè)不良產(chǎn)品都是由于對(duì)低濕環(huán)境的無(wú)效控制造成的損害。可以看出，在氣體供應(yīng)和輸送系統(tǒng)的規(guī)劃中，與露點(diǎn)傳感器配合進(jìn)行監(jiān)控是一個(gè)不容忽視的重要環(huán)節(jié);監(jiān)控與工藝相結(jié)合，可以隨時(shí)監(jiān)控反應(yīng)物和產(chǎn)品的比例，完全燃燒幫助工廠節(jié)約成本。

我們?yōu)榭蛻?hù)提供氮?dú)饧兌葯z測(cè)設(shè)備，壓縮空氣檢測(cè)儀等多款產(chǎn)品。